MEMS (viết tắt của cụm từ microelectromechanical systems, nghĩa là vi hệ thống cơ điện tử) là thuật ngữ thường dùng để chỉ các hệ thống điện tử có thể có thêm các bộ phận chuyển động có kích thước cỡ micromét.
Công nghệ chế tạo các MEMS là công nghệ sử dụng kỹ thuật giống như kỹ thuật mạch tích hợp (ví dụ như các công nghệ quang khắc, chùm iôn hội tụ...). Tuy nhiên không giống như linh kiện IC được tạo ra từ những lớp cấu trúc 2D, sản phẩm của công nghệ MEMS là các linh kiện có cấu trúc không gian 3 chiều thực sự - gọi là thiết bị MEMS.
 |
Bài này còn sơ khai. Mời bạn góp sức viết thêm để bài được hoàn thiện hơn. Xem phần trợ giúp về cách sửa bài. |
